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| 電子特氣及電子化學(xué)品產(chǎn)品目錄 | ||
產(chǎn)品名稱 | 分子式 | 產(chǎn)品等級 |
三氟化氮 | NF3 | 4.6N/5.5N |
六氟化鎢 | WF6 | 6N |
六氟丁二烯 | C4F6 | 4N |
三氯氫硅 | SiHCl3 | 6N |
二氯二氫硅 | SiH2Cl2 | 5N |
四氯化硅 | SiCl4 | 6N |
正硅酸乙酯 | TEOS | 5-7N |
超純氨 | NH3 | 7N |
超純氫 | H2 | 6N |
高純一氧化碳 | CO | 5N |
高純二氧化碳 | CO2 | 6N |
高純甲烷 | CH4 | 5N |
超純氨水 | -- | G5 |
高純氯化氫 | HCl | 6N |
高純氯氣 | Cl2 | 6N |
高純羰基硫 | COS | 5N |
超純鹽酸 | -- | G5 |
溴化氫 | HBr | 5N |
三甲基硅烷 | C3H10Si | 5N |
四甲基硅烷 | C4H12Si | 5N |
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